HEPA được sử dụng bởi cửa thoát khí hiệu quả sử dụng bộ lọc chịu dầu hiệu suất cao, điện trở thấp H14 của thương hiệu nội địa, thông qua dây chuyền lắp ráp origami tiên tiến trong nước trong sản xuất và lắp đặt phòng sạch, hiệu suất lọc ≥0,3um, bụi ≥99,99% ( phương pháp bẫy natri), để đảm bảo độ sạch của bàn sạch đạt tiêu chuẩn ISO5 (FEDERAL 209E100).
DOP/cổng phát hiện áp suất chênh lệch, bình chứa chất lỏng, van khí điều chỉnh xuống, bộ khuếch tán, xoáy và tấm khuếch tán khác.Mọi thứ.